日本精工針對從事FPD等面板搬運的真空機器人用途，開發(fā)出了在超高真空環(huán)境下耐久性更高的角接觸球軸承“真空機器人用固體潤滑角接觸球軸承”。此次通過重新開發(fā)保持架的機械裝置，成功實現(xiàn)了角接觸球軸承的固體潤滑。由此，不僅提高了耐久性，還可滿足日益大型化的真空機器人負(fù)荷容量增加的要求。耐久性達(dá)到以往固體潤滑軸承的5倍。 

    作為固體潤滑劑，采用了二硫化鎢類燒結(jié)合金，其脫氣量（從材料釋放出的分子的量，Outgas）僅為以往真空用潤滑脂的1/5～1/10以下?？稍跍囟葹?00℃（固體潤滑劑為350℃）、壓力最大為10-6Pa的超高真空環(huán)境下使用。 

    在新的機械裝置中，襯套可相對于滾珠及滾動面進(jìn)行滑動。另外，通過將油兜配置在接觸角（滾珠受力的作用線方向）位置，提高了軸承潤滑的效率